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    半導體無塵車間:半導體芯片生產環境的要求

    作者:超級管理員 瀏覽量:866 來源:本站 時間:2022-04-09 09:41:43

    信息摘要:

    由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。半導體無塵車間 1、室內的噪聲級(空態):不應大于65dB(A) 2、垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔

        由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。半導體無塵車間

        1、室內的噪聲級(空態):不應大于65dB(A)

        2、垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。

        3、與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa。

        4、潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:

        5、補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

        6、保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

        7、凈化空調系統加熱器,應設置新風,超溫斷電保護,若采用點加濕時應設置無水保護,寒冷地區,新風系統應設置防凍保護措施。無塵室的送風量。半導體無塵車間


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